工業(yè)薄膜是常用的薄膜材料之一，與普通的薄膜相比，它所應(yīng)用的范圍會更準(zhǔn)確一些，主要應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)當(dāng)中。由于工業(yè)薄膜的厚度很薄，很容易產(chǎn)生尺寸效應(yīng)，就是說工業(yè)薄膜的物性會受到薄膜厚度的影響。工業(yè)薄膜的表面效應(yīng)很顯著，表面能、表面態(tài)、表面散射和表面干涉對它的物性影響很大。在電子產(chǎn)品生產(chǎn)行業(yè)當(dāng)中，工業(yè)薄膜也有應(yīng)用到的，在其電子基片和薄膜之間還存在有相互作用，因而就會出現(xiàn)薄膜與基片之間的粘附性和附著力問題，以及內(nèi)應(yīng)力的問題。